Система литографии по сути является проекционной системой. Свет проецируется через шаблон схемы, которая должна быть напечатана (известный как «маска» или «сетка»). Шаблон в четыре раза больше самой схемы, которая будет напечатана на чипе. После того как схема была закодирована в свете, оптика системы сжимает рисунок и фокусирует его на светочувствительной кремниевой пластине. После того, как схема напечатана, система слегка перемещает пластину и делает еще одну копию на пластине.
Этот процесс повторяется до тех пор, пока пластина не будет покрыта схемами, тем самым завершая один слой чипов на пластине. Чтобы сделать целый микрочип, этот процесс должен быть повторен 100 или более раз, накладывая схемы поверх схем. Размер печатаемых элементов варьируется в зависимости от слоя, а это означает, что для разных слоев используются разные типы систем литографии — от систем EUV последнего поколения для самых маленьких элементов до более старых систем DUV для самых больших.