Новейшие машины NXT производства ASML продемонстрировали способность выпускать более 6000 пластин в день со средним увеличением производительности на 5% за 12 месяцев, что соответствует требованиям клиентов компании. ASML продолжает внедрять инновации в свои иммерсионные системы, чтобы соответствовать требованиям будущих узлов, используя для этого унифицированность в исследованиях и разработках с программой EUV, а также обеспечивая расширяемость платформы за счет обновлений System Node Enhancement Package. Благодаря этому любую систему NXT можно модернизировать до новейших технологий.
TWINSCAN NXT:2050i
TWINSCAN NXT:2050i — это высокопроизводительный двухэтапный иммерсионный литограф, предназначенный для серийного производства пластин диаметром 300 мм на передовых узлах.
TWINSCAN NXT:2000i
TWINSCAN NXT:2000i обеспечивает превосходное наложение, контроль фокусировки и перекрестное согласование для крупносерийного производства усовершенствованных логических узлов и узлов DRAM.
TWINSCAN NXT: 1980Di
TWINSCAN NXT:1980Di обеспечивает высокую производительность и надежность для массового производства на передовых узлах с глобальным временем безотказной работы системы >97%.
TWINSCAN NXT: 1970Ci
TWINSCAN NXT:1970Ci обеспечивает высокую производительность и превосходное разрешение изображения благодаря двухэтапной концепции.
